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當(dāng)中國(guó)成為全球最大的機(jī)電、家電、消費(fèi)電子產(chǎn)品生產(chǎn)地,也順勢(shì)成為全球最大的功率器件消費(fèi)市場(chǎng)。集邦數(shù)據(jù)顯示,2018年中國(guó)功率器件市場(chǎng)規(guī)模同比增長(zhǎng)12.76%至2,591億美元,到2020年將超過3,000億美元。Yole統(tǒng)計(jì),全球半導(dǎo)體市場(chǎng)中,中國(guó)占比39%,居第一位;歐洲第二位,占比18%;美國(guó)占比8%,日本占6%,其他地區(qū)占29%。
但是,功率器件的供給和需求卻呈現(xiàn)較大錯(cuò)配。在各類功率器件中,國(guó)內(nèi)產(chǎn)能供應(yīng)占比均未超過50%。實(shí)際上,歐美日企業(yè)占有70%的份額,中國(guó)臺(tái)灣企業(yè)占有10%的份額,中國(guó)大陸企業(yè)市場(chǎng)份額約為10%。因此,功率器件呈現(xiàn)出較大的供需不匹配的格局,進(jìn)口替代空間較大。
近年來,無論是國(guó)家還是產(chǎn)業(yè)界,均高度重視自主功率器件產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。國(guó)家通過“01專項(xiàng)”“02專項(xiàng)”等政策進(jìn)行頂層設(shè)計(jì),并通過國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)基金撬動(dòng)多方資金。自主產(chǎn)品從低端產(chǎn)品逐步向高端產(chǎn)品爬升,并且在特定的領(lǐng)域產(chǎn)生領(lǐng)導(dǎo)者。例如,中車時(shí)代電氣專注于軌道交通領(lǐng)域高壓IGBT;比亞迪專注于電動(dòng)汽車IGBT;士蘭微作為IDM綜合型半導(dǎo)體公司,特色工藝平臺(tái)覆蓋功率IC、半導(dǎo)體功率器件、功率模塊等產(chǎn)品的制造、封裝領(lǐng)域,在消費(fèi)電子、家用電器、工業(yè)等領(lǐng)域建立了較強(qiáng)的品牌優(yōu)勢(shì)。
功率器件?國(guó)產(chǎn)替代三大動(dòng)力
功率半導(dǎo)體是對(duì)功率進(jìn)行變頻、變壓、變流、功率放大及管理的半導(dǎo)體器件,不但實(shí)施電能的存儲(chǔ)、傳輸、處理和控制,保障電能安全、可靠、高效和經(jīng)濟(jì)的運(yùn)行,而且將能源與信息高度地集成在一起。雖然功率半導(dǎo)體器件在電力電子裝置中的成本占比通常僅20%~30%,但是對(duì)設(shè)備的使用性能、過載能力、響應(yīng)速度、安全性和可靠性影響極為重大,是決定其性價(jià)比的核心器件。從集成度看,可以分為功率器件、功率模組(模塊)和功率集成電路(Power IC,又稱功率IC、電源管理IC)。
由于電力電子產(chǎn)品對(duì)綠色、節(jié)能需求的持續(xù)強(qiáng)烈,MOSFET、IGBT是目前最重要、也最具發(fā)展?jié)摿Φ墓β拾雽?dǎo)體產(chǎn)品,應(yīng)用范圍從工業(yè)、汽車、無線通訊和消費(fèi)電子,一直延伸到變頻家電、軌道交通、新能源、智能電網(wǎng)等領(lǐng)域。但是,國(guó)外企業(yè)在這一領(lǐng)域還占據(jù)主導(dǎo)地位。例如,在MOSFET領(lǐng)域,根據(jù)IHS 的數(shù)據(jù),前兩大廠商英飛凌和安森美合計(jì)市占率45.9%;前五大廠商合計(jì)市占率約64%。在IGBT領(lǐng)域,英飛凌、三菱、富士電機(jī)、賽米控和安森美五大廠商合計(jì)市占率64.1%。
MOSFET、IGBT等高端功率半導(dǎo)體器件的進(jìn)口替代動(dòng)力主要來自三個(gè)方面。第一是產(chǎn)業(yè)政策的推動(dòng),第二是國(guó)際大廠的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)優(yōu)化,為國(guó)內(nèi)企業(yè)創(chuàng)造進(jìn)入空間,第三是國(guó)內(nèi)終端企業(yè)基于供應(yīng)鏈成本、議價(jià)能力、服務(wù)響應(yīng)等綜合需求的考慮,國(guó)產(chǎn)化替代的愿望較為強(qiáng)烈。
近幾年,國(guó)際大廠向工業(yè)自動(dòng)化、汽車電子等高毛利領(lǐng)域發(fā)展,減少或剝離PC、手機(jī)、家電等消費(fèi)領(lǐng)域的產(chǎn)品供給。2018年,英飛凌汽車電子營(yíng)收占比達(dá)到42%、安森美及羅姆汽車電子營(yíng)收占比達(dá)到31%,較2009年提升了10至20個(gè)百分點(diǎn)。2013年,瑞薩率先退出中低壓MOSFET領(lǐng)域,2017年恩智浦(NXP)出售其低毛利的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品業(yè)務(wù)部門Nexpeira,專注于汽車電子和智能識(shí)別業(yè)務(wù)。
在需求動(dòng)力上,國(guó)內(nèi)終端企業(yè)基于供應(yīng)鏈成本、議價(jià)能力、服務(wù)響應(yīng)等綜合考慮,國(guó)產(chǎn)化替代的需求逐漸提升。2019年以來,受到中興華為及日韓事件影響,國(guó)內(nèi)終端企業(yè)主動(dòng)降低供應(yīng)鏈安全風(fēng)險(xiǎn)的動(dòng)力更強(qiáng)。他們向國(guó)內(nèi)傾斜,給了國(guó)內(nèi)上游芯片設(shè)計(jì)、制造企業(yè)更多的機(jī)會(huì),也能夠幫助上游芯片設(shè)計(jì)、制造企業(yè)提高產(chǎn)品研發(fā)和量產(chǎn)能力。
國(guó)內(nèi)企業(yè)從基礎(chǔ)器件開始?向中高端攀登
另一方面,隨著中國(guó)在消費(fèi)電子、家用電器、汽車、工業(yè)自動(dòng)化、新能源、軌道交通等領(lǐng)域的產(chǎn)能發(fā)展,國(guó)內(nèi)功率半導(dǎo)體市場(chǎng)空間也日益增大。在此背景下,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)從基礎(chǔ)器件開始,向中高端攀登。值得注意的是,已有部分企業(yè)開始在各自領(lǐng)域進(jìn)行單點(diǎn)突破,實(shí)現(xiàn)行業(yè)內(nèi)的自主替代。
例如,揚(yáng)杰科技是國(guó)內(nèi)主要的二極管、整流橋及整流器芯片生產(chǎn)商,光伏二極管市占率超過30%,智能電表整流橋市占率約40%。捷捷微電晶閘管產(chǎn)品占國(guó)產(chǎn)45%的份額。
聞泰科技于2018年10月取得對(duì)安世半導(dǎo)體(Nexpeira)的絕對(duì)控制權(quán)。安世半導(dǎo)體分立器件、邏輯器件和MOSFET器件市占率皆居全球前三,年度產(chǎn)能超過1,000億件。但是,隨著中美貿(mào)易摩擦在短期內(nèi)難以消除,跨國(guó)并購(gòu)難以成為國(guó)內(nèi)企業(yè)向高端發(fā)展的主流模式。
士蘭微是國(guó)產(chǎn)功率半導(dǎo)體龍頭,主要產(chǎn)品包括功率IC、半導(dǎo)體功率器件及功率模塊,產(chǎn)業(yè)鏈涵蓋設(shè)計(jì)、制造及封裝。2019年,士蘭IGBT器件和智能功率模塊(IPM)的營(yíng)業(yè)收入均突破1億元人民幣,成為國(guó)內(nèi)白電TOP客戶的半導(dǎo)體供應(yīng)商。士蘭微電子生產(chǎn)的600V單管IGBT產(chǎn)品已經(jīng)在電焊機(jī)、變頻器和IPM領(lǐng)域大規(guī)模應(yīng)用,獲得了業(yè)內(nèi)廣泛好評(píng)。
士蘭IPM(智能功率模塊)系列產(chǎn)品涵蓋了從20W~3000W的功率段,可廣泛應(yīng)用于空調(diào)、冰箱、洗衣機(jī)、變頻器、風(fēng)機(jī)、水泵、電動(dòng)工具等應(yīng)用場(chǎng)合,所有芯片都在士蘭微自有的芯片生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)了大批量產(chǎn)出。在DIP系列IPM的基礎(chǔ)上,士蘭微推出了SOP系列IPM,在其內(nèi)部不僅內(nèi)置了功率開關(guān)器件和驅(qū)動(dòng)電路,還集成了控制單元MCU,使得系統(tǒng)更加集成化、小型化、智能化。士蘭IPM已被海信、海爾、長(zhǎng)虹、美的等知名白電廠商批量采用,2019年上半年,士蘭IPM在下游變頻空調(diào)等白電整機(jī)上使用量超過300萬顆。士蘭微至今已形成IPM芯片設(shè)計(jì)、流片、封裝、測(cè)試、系統(tǒng)驗(yàn)證一體的全流程體系以及完善的質(zhì)量管控體系。
在IDM模式下,士蘭微已形成特色工藝技術(shù)與產(chǎn)品研發(fā)的緊密互動(dòng),以及器件、集成電路和模塊產(chǎn)品的協(xié)同發(fā)展,產(chǎn)品可以協(xié)同、成套進(jìn)入整機(jī)應(yīng)用系統(tǒng),市場(chǎng)前景廣闊。近兩年,士蘭微功率解決方案發(fā)展迅速,已經(jīng)在變頻電機(jī)控制領(lǐng)域推出完整的應(yīng)用方案和配套電路,并完成產(chǎn)業(yè)布局,廣泛應(yīng)用于白色家電、電動(dòng)工具、園林工具等無刷直流電機(jī)控制;在智能手機(jī)等便攜式電子領(lǐng)域,士蘭微已推出旅充、移動(dòng)電源和車充的多協(xié)議快充解決方案系列芯片組。2019年上半年,士蘭微宣布已研制成功全部芯片均自主研發(fā)的電動(dòng)汽車主電機(jī)驅(qū)動(dòng)模塊,該產(chǎn)品參數(shù)性能指標(biāo)先進(jìn),已交付客戶測(cè)試。士蘭微還在化合物功率半導(dǎo)體器件的研發(fā)上持續(xù)加大投入,爭(zhēng)取盡快推出硅基GaN功率器件以及完整的應(yīng)用系統(tǒng),并在規(guī)劃SiC功率器件中試線的建設(shè)。
2019年11月,士蘭微公告新建“特色功率模塊及功率器件封裝測(cè)試生產(chǎn)線項(xiàng)目”,項(xiàng)目建成后,將形成年產(chǎn)4,800萬塊IPM特色功率模塊、1.8億顆TO系列等功率器件的封裝測(cè)試能力,預(yù)計(jì)新增年銷售收入2.92億元,凈利潤(rùn)4,460萬元。這顯示出公司持續(xù)看好國(guó)產(chǎn)自主中高端功率半導(dǎo)體的發(fā)展勢(shì)頭,繼續(xù)加碼。
而在細(xì)分市場(chǎng)上,中車時(shí)代電氣專注于4500V以上IGBT研發(fā),產(chǎn)品用于軌道交通領(lǐng)域,自主生產(chǎn)的IGBT全面應(yīng)用于復(fù)興號(hào)動(dòng)車組。比亞迪于2005年開始組建IGBT團(tuán)隊(duì),并于2008年收購(gòu)寧波中緯,之后相繼推出IGBT芯片及模塊。2018年底,比亞迪搭載IGBT2.5芯片的模塊開始外供,搭載IGBT4.0芯片的模塊順利裝車。
大基金持續(xù)支持?政策力度不減
隨著2014年有關(guān)部門頒布《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》,并設(shè)立國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)基金(大基金),半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)研發(fā)推進(jìn)至國(guó)家高度。大基金一期(2014.9~2018.5)已經(jīng)投資完畢,投資總額達(dá)到1,387億元,累計(jì)投資項(xiàng)目超過70個(gè),涉及公司52家。大基金二期于2019年10月22日成立,注冊(cè)資本2,041.5億元,根據(jù)此前有關(guān)報(bào)道,大基金二期將進(jìn)一步支持龍頭企業(yè)做大做強(qiáng),提升成線能力,同時(shí)還將此續(xù)推進(jìn)國(guó)產(chǎn)裝備材料的下游應(yīng)用。
功率半導(dǎo)體是大基金支持的重要領(lǐng)域之一。2016年2月,士蘭微公告與大基金共同投資建設(shè)8吋芯片生產(chǎn)線,該項(xiàng)目于2017年6月正式投產(chǎn),導(dǎo)入了高壓集成電路、高壓MOSFET、低壓MOSFET、肖特基管、IGBT等多個(gè)產(chǎn)品量產(chǎn),2018年總計(jì)生產(chǎn)29.86萬片,2019上半年增長(zhǎng)至17.6萬片。2019年8月,士蘭微公告與大基金共同追加投資,建設(shè)8吋線二期項(xiàng)目。項(xiàng)目完全達(dá)產(chǎn)后,將新增高壓集成電路12萬片/年、功率半導(dǎo)體器件芯片26.4萬片/年、MEMS芯片4.8萬片/年,預(yù)計(jì)新增年銷售收入9.66億元,年利潤(rùn)總額2.08億元。
大基金還撬動(dòng)多個(gè)省市成立區(qū)域集成電路產(chǎn)業(yè)基金,據(jù)統(tǒng)計(jì),至2019年5月,各個(gè)地方集成電路基金累計(jì)規(guī)模已經(jīng)超過5,800億元。2017年12月,士蘭微與廈門半導(dǎo)體投資集團(tuán)計(jì)劃共同投資220億元,在廈門規(guī)劃建設(shè)2條12吋90~65nm的特色工藝芯片生產(chǎn)線和一條4/6吋兼容先進(jìn)化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)線;前者包括硅基功率半導(dǎo)體芯片和MEMS傳感器芯片,后者定位在高端LED芯片、第三代功率半導(dǎo)體器件和光電模塊。目前,12吋線廠房已結(jié)頂,正在進(jìn)行凈化廠房裝修和機(jī)電設(shè)備安裝,預(yù)計(jì)今年四季度進(jìn)入試生產(chǎn)階段;后者已經(jīng)在2019年四季度開始進(jìn)入試生產(chǎn)。
2019年10月8日,工信部在答復(fù)政協(xié)十三屆全國(guó)委員會(huì)民進(jìn)9組的《關(guān)于加快支持工業(yè)半導(dǎo)體芯片技術(shù)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化自主發(fā)展的提案》表示:“工業(yè)半導(dǎo)體材料、芯片、器件及絕緣柵雙極型晶體管(IGBT)模塊的發(fā)展滯后將制約我國(guó)新舊動(dòng)能轉(zhuǎn)化及產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型,進(jìn)而影響國(guó)家經(jīng)濟(jì)發(fā)展?!?/p>
工信部表示,近年來先后推出多項(xiàng)政策推動(dòng)關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān):一是于2017年推出“工業(yè)強(qiáng)基IGBT器件一條龍應(yīng)用計(jì)劃”,針對(duì)新能源汽車、智能電網(wǎng)、軌道交通三大領(lǐng)域,重點(diǎn)支持IGBT設(shè)計(jì)、芯片制造、模塊生產(chǎn)及IDM、上游材料、生產(chǎn)設(shè)備制造等環(huán)節(jié),促進(jìn)IGBT及相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。二是指導(dǎo)湖南省建立功率半導(dǎo)體制造業(yè)創(chuàng)新中心建設(shè),整合產(chǎn)業(yè)鏈上下游資源,協(xié)同攻關(guān)工業(yè)半導(dǎo)體材料、芯片、器件、IGBT模塊領(lǐng)域關(guān)鍵共性技術(shù)。三是指導(dǎo)中國(guó)寬禁帶半導(dǎo)體及應(yīng)用產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟發(fā)布《中國(guó)IGBT技術(shù)與產(chǎn)業(yè)發(fā)展路線圖(2018-2030)》,引導(dǎo)我國(guó)IGBT行業(yè)技術(shù)升級(jí),推動(dòng)相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
IDM模式更有利于
自主高端功率半導(dǎo)體發(fā)展
從國(guó)際大廠的歷史來看,全球功率半導(dǎo)體龍頭均為IDM(設(shè)計(jì)制造一體化)企業(yè),如英飛凌、安森美、ST、羅姆等,他們擁有自己的晶圓廠、芯片廠、封測(cè)廠。在中國(guó)臺(tái)灣有茂達(dá)電子、富鼎電子等一批功率器件的設(shè)計(jì)企業(yè)。在國(guó)內(nèi),士蘭微、揚(yáng)杰科技、華微電子為代表性的IDM企業(yè),中車時(shí)代電氣及比亞迪也選擇IDM模式生產(chǎn)IGBT;華虹半導(dǎo)體、方正微電子以代工為主,華潤(rùn)微電子以代工為主、但也在向IDM模式方向發(fā)展,目前純?cè)O(shè)計(jì)企業(yè)包括韋爾股份、無錫新潔能等少數(shù)企業(yè)。這意味著制造能力建設(shè)是功率半導(dǎo)體企業(yè)走向中高端核心要素。
究其原因,功率半導(dǎo)體遵循特色工藝(More than Moore),即器件價(jià)值的提升不完全依靠尺寸的縮小,而是通過功能的增加。在這個(gè)意義上,eNVM、BiCOMS、RFCOMS、BCD、MEMS等工藝都屬于非尺寸依賴的特色工藝。另外,功率半導(dǎo)體產(chǎn)品性能與應(yīng)用場(chǎng)景密切相關(guān),導(dǎo)致平臺(tái)多、產(chǎn)品類型多。例如安森美MOSFET超過2,500種,以及驅(qū)動(dòng)芯片逾150種;英飛凌MOSFET產(chǎn)品電壓范圍從12V到950V,質(zhì)量等級(jí)從工業(yè)級(jí)到汽車級(jí),種類超過3300種,相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)芯片超過500種。
可見,功率器件企業(yè)要構(gòu)筑核心競(jìng)爭(zhēng)力,就需要在堅(jiān)持以IDM為主要經(jīng)營(yíng)模式的情況下,一方面以下游終端用戶為主要服務(wù)對(duì)象,以更好地理解客戶需求,按需生產(chǎn)不同電性功能的功率器件,從而使生產(chǎn)更具彈性,有效提升生產(chǎn)效率;另一方面要在系統(tǒng)的引領(lǐng)下,持續(xù)開展技術(shù)和產(chǎn)品創(chuàng)新,以更好地加速技術(shù)及應(yīng)用積累,在深度及廣度上覆蓋下游客戶日益增長(zhǎng)的定制化需求。
具體而言,國(guó)產(chǎn)品牌要切入客戶的供應(yīng)鏈體系,就需要企業(yè)能夠支持長(zhǎng)期研發(fā)和持續(xù)改進(jìn)。例如,更換IGBT產(chǎn)品的認(rèn)證周期在3年左右,下游客戶對(duì)原供應(yīng)商的粘性極強(qiáng)。這就需要企業(yè)通過IDM模式形成的設(shè)計(jì)與工藝相結(jié)合的綜合實(shí)力,提升產(chǎn)品品質(zhì)、加強(qiáng)控制成本,向客戶提供差異化的產(chǎn)品與服務(wù),提高向大型廠商滲透的能力。只有對(duì)生產(chǎn)線和設(shè)備精通的企業(yè)才能突破這些技術(shù)難點(diǎn)。
例如,特定耐壓指標(biāo)的IGBT器件,芯片厚度需要減薄到200~100μm,對(duì)于較高要求的器件,甚至需要減薄到60~80μm,目前國(guó)內(nèi)普遍可以減薄到175μm。當(dāng)硅片厚度減到200~100μm的量級(jí),后續(xù)加工處理非常困難,硅片極易破碎和翹曲,特別是針對(duì)8吋以上的大硅片。據(jù)士蘭微電子人員的介紹,為突破超薄晶圓后道制造工藝的技術(shù)難點(diǎn),士蘭微電子引進(jìn)了全系列的業(yè)界先進(jìn)制程設(shè)備,包括用于超薄晶圓薄化工藝的Taiko減薄機(jī)臺(tái),與之配套的光刻、雜質(zhì)高能注入及實(shí)現(xiàn)IGBT場(chǎng)截止層雜質(zhì)激活的激光退火等設(shè)備。2019年上半年實(shí)現(xiàn)120μm硅厚度的1350V RC IGBT器件的生產(chǎn)釋放,并實(shí)現(xiàn)對(duì)終端客戶的批量供貨,在感應(yīng)加熱應(yīng)用領(lǐng)域成功地替代了同類型進(jìn)口器件產(chǎn)品。士蘭微電子的1350V RCIGBT系列產(chǎn)品基于自研的第三代場(chǎng)截止(Field-Stop III)工藝平臺(tái),進(jìn)一步優(yōu)化后道工藝制程,在IGBT器件的內(nèi)部集成了續(xù)流二極管結(jié)構(gòu)。現(xiàn)在,士蘭微電子在自有的8英寸芯片生產(chǎn)線上已經(jīng)全部實(shí)現(xiàn)了幾類關(guān)鍵工藝的研發(fā)與批量生產(chǎn),是目前國(guó)內(nèi)為數(shù)不多已全面掌握上述核心技術(shù)的大尺寸功率半導(dǎo)體器件廠家。
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